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催化燃烧过程是在催化燃烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到260～420℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化，产生二氧化碳和水。
催化即通过催化剂改变反应物的活化能，改变反应物的化学反应速率，反应前后催化剂的质量和化学性质保持不变而催化剂的物理性质可能发生变化，如状态等。 化学反应物要想发生化学反应，必须使其化学键发生改变，改变或者断裂化学键需要一定的能量支持，能使化学键发生改变所需要的低能量阈值称之为活化能，而催化剂通过降低化学反应物的活化能而使化学反应更易进行，且大大提高反应速率。可以分为正催化剂和负催化剂，如果不加特殊说明一般指加快反应速率的催化剂。
采用催化燃烧处理VOCs 废气的净化率通常在95%以上，终产物主要为CO2 和H2O。由于催化燃烧温度低，大量减少NOx的生成[3-5]。
一般都涂在载体上，所以它的形状也依载体而异。载体有γ-Al2O3制成的球体、圆柱体和各种异形体，有用表面覆盖活性氧化铝薄膜的多孔陶瓷蜂窝体，也有用耐热合金丝制成的膨体球和金属波纹板等。载体可减少催化剂的用量，起支撑作用。它应具有比表面积大、耐高温、机械强度大和流体阻力小等特性。